¹ÝµµÃ¼ ÀüÀï
Äڷγª 19°¡ ¿ì¸®ÀÇ ÀÏ»óÀ» ¼ÛµÎ¸®Â° ¹Ù²ã ³õ¾ÒµíÀÌ ¹ÝµµÃ¼´Â ¶Ç ´Ù¸¥ Àǹ̿¡¼ ¿ì¸®ÀÇ »ýȰ¼ÓÀ¸·Î ±í¼÷È÷ ÆÄ°í µé°í ÀÖ´Ù. ÀÌ Ã¥Àº ÀηùÀÇ ¿î¸íÀ» ¹Ù²Ü ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇÑ À̾߱â´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼°è¿¡¼ ÀϾ´Â ÀÏÀÌ ¾î¶² ¹æÇâÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ´ÂÁö, ±× ¿òÁ÷ÀÓÀÇ °á°ú°¡ ¼¼»óÀ» ¾î¶»°Ô ¹Ù²ã³õ°í ÀÖ´ÂÁö ±×·Áº¸°íÀÚ ÇÑ´Ù. Etching, EUV °°Àº Àü¹®¿ë¾î¿¡ ´ëÇØ ¼Ó¼ÓµéÀÌ ¾Ë ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ·± ¿ë¾îµéÀÌ ¾î¶² ¸Æ¶ô¿¡¼ ¾î¶² Àǹ̸¦ °®°í ÀÖ´ÂÁö ¾È´Ù¸é ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ¼¼°è¸¦ ³ª¸§ÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇØ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖÁö ¾ÊÀ»±î ±â´ëÇØº»´Ù.